潔凈廠房的地板系統除了需要給在這個區域工作的人們提供穩定的立足點外,還要提供更多東西,例如把潔凈的空氣送入房間,支撐加工藝設備,為必要的設備維修提供方便的通道,并且還要具備堅固的表面保證設備可以在上面進行改造。潔凈廠房的地板也提供了電力系統的接地,起到傳導和靜電耗散的作用,消除ESD積累。
潔凈廠房的地板成為整個潔凈廠房中最重要的組成部分。然而,很多設備經理或工具安裝人員,在使用潔凈廠房時都會碰到地板帶來的麻煩。舉個例子,人們要進入地板下面的空間時,就會認識到--由于公差過于精密——需要很大的力量才能打開地板塊;然后,在把地板塊放回原處的時候,通常地板塊無法完全復原,不得不用腳用力在上面跺。而且,在使用工具翻開地板塊的時候,經常會損壞它們。
很明顯,隨著時間的推移,這類原因和其他各種因素促使人們尋找一種不同的方法,設計和建造潔凈廠房的地板。